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廣州潽拓光電科技有限公司——愛(ài)德華磁懸浮分子泵，分子泵

SEIKO SEIKI STP-301H Turbo Pump分子泵

Shimadzu真空分子泵維修部分型號:

TMP ：TMP803LM，TMP 1003LM、TMP-1503LM(A2)、TMP 2001-lme 、TMP 2003LM，TMP-50、TMP-203m-g1、TMP-403lm、TMP-803lm、TMP-1303lmc-g1、TMP-1303LMEC-T2、TMP 3203LM、TMP-2304/2804、TMP-3304LMFC，TMP-3403LMEC-T2 、TMP-4304LMC、 TMP-V3304LM、EI-V04M(2304-PB)等

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

廣州潽拓光電科技有限公司——愛(ài)德華磁懸浮分子泵

島津是的渦輪分子泵（TMP）制造商之一。島津TPM主要用于為制造半導體器件、太陽(yáng)能電池和平板顯示器提供不可或缺的高真空環(huán)境。

島津生產(chǎn)的TMP具有國際水準的氣體吞吐量和抽氣速度，可滿(mǎn)足日益嚴格的半導體制造的工藝需求。例如，使制造商能夠在大面積硅片上沉積和蝕刻半導體薄膜。

我司特針常用的 Shimadzu TMP3203渦輪分子維修保養內容如下：

1、超聲波清洗轉/定子葉片及腔體 并烘干

2、更換了全套陶瓷軸承,油棉及密封件等損耗品

3、馬達線(xiàn)圈阻值測量,轉子定子間隙測量

4、根據ISO1940/1& ANSI S2.19,調整測試動(dòng)平衡至Ｇ0.16標準,

5、測試0-27000rpm啟動(dòng)時(shí)間<3分鐘*測試極限真空值<1.0*10－7mbar等

6、持續模擬生產(chǎn)現場(chǎng)測試24小時(shí),

7、0-20KHz震動(dòng)頻譜加速度分析

廣州潽拓光電科技有限公司——愛(ài)德華磁懸浮分子泵

廣州潽拓光電科技有限公司——愛(ài)德華磁懸浮分子泵

 渦輪分子泵的優(yōu)點(diǎn)：

啟動(dòng)快

耐各種射線(xiàn)的照射

耐大氣沖擊

無(wú)儲氣和解吸作用

無(wú)油蒸氣污染或污染極shao

可獲得潔凈的超高真空

廣州潽拓光電科技有限公司——愛(ài)德華磁懸浮分子泵

廣州維修島津TMP-4304LMTC大流量分子泵，Shimadzu鍍膜真空設備泵保養，Shimadzu TMP-4304LMTC分子泵進(jìn)氣法蘭口VG350，出氣法蘭口KF40，抽速可達到4400L/s，轉速為24000rpm，日本島津磁懸浮TMP-4304分子泵保養對應的控制器為：Shimadzu EI-R04M，廣州維修島津TMP-4304LMTC大流量分子泵，Shimadzu鍍膜真空設備泵保養